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    4. 晶圓清洗機

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      晶圓清洗機

      產品時間:2021-3-27 15:22:21

      簡要描述:

      檢查管路系統有無漏氣漏水的情況,如有這種情況,應通知維修人員修理。

      詳細介紹

      詳細內容:


      晶圓制造工藝技術中清潔步驟和目的


      根據清潔方法的各種不同,清洗機械可分成兩種,分別是單片式和槽式。


      單片式清洗機是由好多個清潔內腔組成,再充分利用機械手臂將每一片晶圓送至每個內腔中開展單獨的噴淋式清潔,清潔成效比較好,防止了交叉破壞和前批次破壞后批次,但缺陷是清潔效率較低,成本費用偏高。


      槽式清洗機是將晶圓放到花籃中,再充分利用機械手臂逐個將其充分利用各種不同的化學試劑槽開展清潔,槽內裝配有酸堿等化學液,一次能夠同時清潔一個花籃或兩個花籃,該類清洗機清潔效率較高、成本費用較低,缺陷是清潔的晶圓之間會存有交叉破壞和前批次破壞后批次。


      槽式清洗機主要是由抗腐蝕機架、酸槽、水槽、干燥槽、操縱單元、排風系統單元及其氣體和液體管道單元等幾大部分組成。



        來源:http://www.gsnucc.com/product705143.html    發布時間:2021-3-27 15:22:21

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